PRODUCCIÓN DE SEMICONDUCTORES
Semiconductores, FPD y películas de alto rendimiento
Los semiconductores, los cristales líquidos y sus componentes, las películas de alto rendimiento, representan una acumulación de tecnologías de vanguardia e indispensables para nuestra vida moderna. El rendimiento de estos productos mejora día a día, y las piezas utilizadas en los equipos de fabricación deben operar en entornos extremadamente adversos, como ambientes limpios, de alta temperatura y corrosivos. Los rodamientos cerámicos de la serie «Special Environment Bearing Series – EXSEV Bearings» se han desarrollado aprovechando tecnologías de materiales, tratamientos superficiales y lubricación para soportar una variedad de entornos exigentes.
ENTORNOS DE OPERACIÓN
- Ambientes limpios
- Altas temperaturas
- Vacío
- Ambientes corrosivos
- Campos magnéticos
Serie EXSEV
Los rodamientos para entornos especiales EXSEV han sido desarrollados aprovechando tecnologías de materiales, tratamientos superficiales y lubricación para responder a distintas condiciones de operación exigentes.
APLICACIONES
Soluciones para cada etapa del proceso
01 · ALTA TEMPERATURA
Equipos de formación de película por procesamiento térmico
Estos equipos utilizan rodamientos especiales capaces de mantener una lubricación adecuada incluso bajo condiciones de alta temperatura.
PRODUCTO RELACIONADO · SERIE EXSEV
02 · NO MAGNÉTICO
Equipos de exposición
Los rodamientos utilizados en equipos de exposición trabajan en campos magnéticos intensos, por lo que se emplean soluciones cerámicas no magnéticas.
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03 · RESISTENCIA A LA CORROSIÓN
Equipos de grabado (Etching)
Durante el funcionamiento, estos rodamientos pueden quedar expuestos a soluciones de grabado. Para estas condiciones se utilizan rodamientos cerámicos resistentes a la corrosión y soluciones en acero inoxidable.
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04 · VACÍO Y LIMPIEZA
Equipos de implantación iónica
En las cámaras de vacío se utilizan rodamientos limpios diseñados para minimizar la generación de partículas e impurezas ocasionadas por el desgaste durante la operación.
PRODUCTO RELACIONADO · SERIE EXSEV
05 · VACÍO A ALTA TEMPERATURA
Equipos de pulverización catódica (Sputtering)
En las zonas de vacío sometidas a alta temperatura se utilizan rodamientos Clean Pro desarrollados específicamente para estas condiciones de funcionamiento.
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06 · ABRASIÓN Y CORROSIÓN
Equipos CMP
Los equipos de planarización químico-mecánica (CMP) trabajan en presencia de materiales abrasivos. Para estas aplicaciones se emplean rodamientos cerámicos resistentes a la corrosión y soluciones con recubrimiento de PTFE.
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07 · PRECISIÓN DE INSPECCIÓN
Equipos de inspección
Se emplean rodamientos no magnéticos para evitar interferencias que puedan afectar los resultados de los procesos de inspección.
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08 · BAJA EMISIÓN DE PARTÍCULAS
Equipos de transferencia de obleas
Estos equipos requieren baja emisión de partículas y larga vida útil. JTEKT combina rodamientos cerámicos con rodamientos delgados de bolas de complemento completo de la serie K.
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09 · PROCESOS QUÍMICOS
Equipos para producción de película polarizadora LCD
Las líneas de producción de películas polarizadoras utilizan diferentes soluciones, entre ellas ácidos, álcalis, colorantes y agua pura, lo que exige componentes adecuados para estos entornos de proceso.
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DOCUMENTACIÓN TÉCNICA
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